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增强型MOS管的结构详细解析

更新时间  2023-12-18 17:19 阅读

在现代电子科技中,增强型MOS管以其独特的结构和性能特点,在电子设备中得到了广泛应用。本文将对增强型MOS管的结构进行详细解析,帮助您更好地理解这一增强型MOS管。


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低掺杂P型硅衬底


增强型MOS管的制造过程始于选择一块低掺杂的P型硅片作为衬底。P型硅衬底具有较低的杂质浓度,有助于减少器件的漏电流和提高性能稳定性。


高掺杂N+区及源漏极制作


在P型硅衬底上,利用扩散工艺制作两个高掺杂的N+区,这两个区域分别引出源极(S)和漏极(D)。高掺杂N+区的形成有助于降低源漏极间的电阻,提高器件的导电性能。


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iO2绝缘层与金属铝栅极


在半导体表面制作一层SiO2绝缘层,这是MOS管结构中的关键部分。SiO2绝缘层具有优良的绝缘性能和稳定性,能够保证栅极与半导体之间的良好隔离。接着,在SiO2绝缘层上制作一层金属铝,引出电极作为栅极(G)。金属铝具有良好的导电性和稳定性,适合用作栅极材料。


栅极与衬底的连接及工作原理


通常将栅极与衬底连接在一起,形成一个电容结构。当栅极与源极之间的电压发生变化时,将改变衬底靠近绝缘层处的感应电荷数量,从而控制漏极电流的大小。这种通过改变栅源电压来控制漏极电流的方式,实现了增强型MOS管的放大和开关功能。


总之,增强型MOS管的结构特点包括低掺杂P型硅衬底、高掺杂N+区、SiO2绝缘层以及金属铝栅极。这些结构特点共同保证了增强型MOS管在电子设备中的优异性能表现。


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